주사전자현미경

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주사전자현미경 > FE-SEM > FE - SEM (PE-300)
FE - SEM 고분해능 전계방사형 주사전자현미경

제조사

MODULESCI

모델명

PE-300

제품담당자

이  름 : 최윤형 사원
연락처 : 02-519-7398
이메일 : choiyh@youngin.com
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제품정보

MODULESCI PE-300은 고분해능 전자현미경으로 모듈싸이만의 특별한 기술력으로 국내 최초로 개발한 FE 전자총이 구성된 Schottky 타입의 FE-SEM입니다.

 

 

* 특징

1. 시료교체 후 이미징까지 걸리는 시간이 90초 내에 가능

2. 가속전압 동작 중에도 시료 교체 가능

3. 2nm 이하의 분해능과 높은 휘도로 보다 선명하고 깨끗한 이미지 획득 가능

4. 슬라이드와 챔버 두가지 타입의 스테이지 선택 가능

   : 슬라이드 타입은 3축(X,Y,Z) motorized stage이며 챔버 타입은 5축(X,Y,Z,R,T) motorized stage 적용

 

 

* 스펙

1. Dimension(mm) : 750x830x1200 (W x L x H)

2. Electron source : FE(Schottky)

3. Resolution : 2nm

4. Magnification : x20~x300,000

5. Effective magnification : ~ x200,000

5. Electron gun vacuum : 10-10torr

6. Accelerating Voltage : 0.5~30kV

7. Motorized Stage : X:50mm Y:50mm Z:45mm T:-20°~45° R:360°, 5-Axis Motorized

8. Option : BSE, EDS, navigation
 



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