일반적으로 ICP-MS의 경우 시료중에 존재하는 각 원소의 원소별 총량만을 분석할 수 있는
분석기기이다.

하지만 환경중에 존재하는 화합물의 경우 유기화합물과 무기금속이 결합하여 형성된
유기금속화합물이 있고, 대표적인 예로 유기주석화합물류와 유기수은화합물류가 있다.
이러한 유기금속화합물의 경우 각각의 유기금속화합물에 따라 생물체에 미치는 독성이 달라
무기금속원소 분석장비를 사용하여 분석한 시료중에 존재하는 원소별 총량만으로는 시료의 독성을
평가하기 어렵다.

또한 GC, HPLC 등과 같은 크로마토그래피 장비의 경우 유기금속화합물류를 각각의 유기금속화합물로 분리는 가능하나 시료중에 존재하는 유기금속화합물류의 농도가 매우 낮고, 현재의 검출기로는 감도도 낮아 정량분석이 어려운 한계를 가지고 있다. 따라서 최근에는 GC, HPLC 등 크로마토그래피의
분리기능과 ICP-MS의 무기금속원소에 대한 높은 감도 측정기능을 합하여 GC-ICP-MS,
HPLC-ICP-MS 등 직렬결합된 분석솔루션이 제시되고 있다. 또한 무기금속류 중에서도 이온화도에 따라 독성이 달라지는 3가크롬(Cr3+, 무독성)과 6가크롬(Cr+6, 유독성)의 분리, 검출에도 IC-ICP-MS
솔루션이 활용되고 있다.

나아가 암석, LCD 등 고체시료중에 존재하는 무기금속원소를 직접 분석하고자하는 응용의 경우
Laser Ablation을 사용하면, 별도의 시료전처리없이 고체시료를 분석할 수 있게 된다.

       <그림 6> HPLS-ICP-MS 시스템 구성예   <그림 7> GC-ICP-MS 시스템 구성예

이상과 같이 무기금속원소의 경우 독성과 생체내 축적성에 의해 환경적인 측면에서 분석의 필요성이 계속 증가하고 있으며, 산업적인 측면에서도 반도체 등 정밀화학산업을 중심으로 극미량 무기금속원소 분석을 요구하고 있다.

ICP-MS의 경우 ICP의 플라즈마를 에너지원으로 사용하여 액체상태의 시료를 기체화, 이온화시켜주며, 질량분석방식을 통해 정성/정량분석이 이루어진다. 이러한 ICP-MS는 검출한계, 감도,
다원소동시분석, 시료분석시간, 전처리필요여부, 정확한 정성/정량분석결과, 넓은 동적범위,
사용의 편리성 등을 이유로 무기금속원소 분석에 있어 ICP-MS에 대한 수요가 점차 늘어나고 있다.

나아가 최근에는 크로마토그래피 기술과의 접목을 통해 고감도의 검출기로서 새로운 분석솔루션을
제시하고 있다.